Research on Hybrid & Heterogeneous Integration
- シリコンフォトニクス (Silicon Photonics)
- 希土類複合酸化物結晶薄膜の光機能発現・集積プロセス開発
- 新世代集積化光制御システムの開拓
- 集積量子光学系の構築
- 新しい金属複合酸化膜成膜装置(RASforLab.)の開発(共同研究 シンクロン）
- ダイヤモンド・高出力/高エネルギー デバイスに向けた結晶成長技術の開発
- ダイヤモンド単結晶薄膜のヘテロエピタキシャル成長
- ナノ結晶ダイヤモンド・パウダーの気相合成と応用
- スマートグリッドを目指すSi-ダイヤモンド融合技術の開発
- ダイヤモンド/シリコン・ハイブリッドフォトニクス
Topics
- Growth of CuAlO2 on SiO2 under a layer-by-layer approach conducted by digitally processed DC sputtering and its transistor characteristics Open access(JJAP 2024)
- 反応性ガスパルスと同期したデジタル処理DCスパッタリング, 「表面と真空」2023 年 8 号
- Atomically Precise Deposition of (Er0.1Y0.9)2SiO5 Combined with Digitally Processed DC Sputtering and Non-Radical Oxidation (JVSTA 40, 2022) Open access (Sep.1, 2022)
- Highly precise multi-cathode pulsed-DC sputtering employing digital processing -application to layer-by-layer synthesis of cubic (Er0.1Y0.9)2Zr2O7 thin film-(JJAP (2021))
- Development of digitally processed DC reactive sputtering and its application to the synthesis of (Er0.1Y0.9)2SiO5 layered crystalline thin film (JAP 130, 185301(2021)) Open access
- 株)シンクロンよりデジタル処理を導入したProgrammable RAS(P-RAS)をリリース（Oct., 2020）
- Proposal of Digitally Processed DC Sputtering by Programmable RAS(AVS 66 Oct.20-25, 2019)
Demonstration of Digitally Processed DC Sputtering in Programable RAS (P-RAS)
- Optical gain in (ErY)2Zr2O7 waveguide for backend photonics prepared by RAS (SSDM2019_Abstract)
- 2020卒研配属用研究室紹介
- 1st PICS Workshop: Evolution of Photonic Integration(June 21, 2019)
- Low Threshold and Extreme High Optical Gain in ErxYbyY2-x-ySiO5 Compound Crystalline Thin Films(SSDM2018_Abstract)
- Rare earth silicates as gain media for silicon photonics (Photonics Research 2, A45(2014))(Invited paper : Free Article)
Si photonic crystal slot ErxY2-xSiO5 waveguide
- Role of Energy Migration in Nonradiative Relaxation Processes in ErxY2-xSiO5 Crystalline Thin Films.(JJAP 52, 082601 (2013))
- Enhancement of Diamond Nucleation by Atomic Silicon Microaddition (JJAP 51, 090108 (2012))(Selected paper : Free Article)
Diamond cube grown on Si sub. Diamond micro mosaic growth